Манометры с холодным катодом

Между анодом и катодом подается напряжение в несколько кВ, что вызывает самостоятельный разряд остаточных газов. Для усиления ионизации используется магнитное поле, закручивающее и удлиняющее траекторию электронов. Мерой давления является ток разряда. Манометры с холодным катодом различают по геометрии электродов. На сегодняшний день распространены три основных геометрии:

1. Ячейка Пеннинга. Два дисковых катода…

2. Магнетронная ячейка. Катод, два диска, соединенные стержнем, и вокруг анод.

3. Инверсно-магнетронная ячейка. На ней наоборот – цилиндрический катод и стержень-анод. Должна быть самой эффективной, т.к. вероятность попасть электрону в анод больше.

Соединения и течи.

Требования к соединениям должны быть таковы, чтобы вакуум без откачки сохранялся в течение длительного времени.

То есть поры имеют размеры порядка атомных.

Подобные уплотнения возможны только с помощью ножевых уплотнений (conflate).

Применяются к фланцевым соединениям. На фланцах выполняется напротив друг друга острый выступ, на другом выполняется проточка. Между соединяемыми деталями устанавливается мягкая медная прокладка. При затягивании болтами фланцевого соединения происходит деформация мягкой прокладки, и она заполняет все неровности поверхности фланцев, образуя, тем самым, вакуум-плотное соединение. Считается, что ножевое уплотнение в состоянии поддерживать остаточное давление до 10^-11 Па.

Размеры труб под ножевые уплотнения стандартизованы, существует несколько типоразмеров с разным внутренним диаметров.

Помимо постоянных уплотнений, также нужны управляемые соединения, которые могут быть открыты/закрыты извне. В этом случае ножевое уплотнение неприменимо. Используется специальные уплотнения.

Например, угловой вентиль.

Для качественного ограждения пути остаточного газа на самом вентиле используется конструкция в виде грибка – он заходит в трубу с одной стороны, с другой стороны сделаны проточки, на концах грибка сделаны уплотнения из резины.

Корпус соединен фланцевыми соединениями. В местах, где выполнен вакуумный вход ручки, установлен дополнительный сильфон.

Второй вариант – угловой (шлюзовой) вентиль. Отличается тем, что воздух проходит напрямую, а не под углом. Здесь тоже уплотнения из вакуумной резины. Конструкция сверху – пневматическое управление. Сильфон защищает пространство управляющего вентиля.

27.09.14.

Дата добавления: 2014-11-14; просмотров: 237; Нарушение авторских прав

Мы поможем в написании ваших работ!