Проблемы структур межкомпонентных соединений с вольфрамовыми столбиками и алюминиевыми шинами

Во-первых, это сложность процесса, в котором используются два различных типа металла и два различных процесса осаждения металлов (каждый с его собственным технологическим оборудованием). Во-вторых, общее сопротивление структуры алюминиевая шина/вольфрамовый столбик может возрастать до очень высоких величин для контактов малых размеров (несмотря на то, что величина этого сопротивления может быть уменьшена путем использования проводящего материала с более низким удельным сопротивлением, например, меди). И, наконец, имеются некоторые проблемы, связанные вольфрамовыми контактами и сквозными отверстиями. Это проблема электромиграции в алюминии, которая часто происходит вблизи вольфрамовых контактов. Частично это может быть связано с механическими напряжениями, которые развиваются на границе раздела W/Al (которые могут усиливать электромиграцию или инициировать образование пустот или бугорков). Это может быть также из-за того, что различные материалы в контакте или сквозном отверстии могут быть точкой расхождения потоков. Алюминий также имеет более низкое электрическое удельное сопротивление, чем вольфрам. Это может быть вредным по отношению к электромиграционным эффектам, особенно в схемах, где имеется существенный ток между двумя различными материалами.

Дата добавления: 2015-07-26; просмотров: 139; Нарушение авторских прав

Мы поможем в написании ваших работ!