Силицид кобальта

Силицид кобальта начал использоваться при изготовлении приборов с проектными нормами 0.25/0.18 мкм. Этот силицид обладает следующими характеристиками:

1. Низкое удельное сопротивление (16-18 мкОм•см) и высокая термостабильность.

2. Силицид кобальта имеет зерна в десять раз меньше, чем силицид титана (0.05 мкм против 0.5 мкм).

3. Формируется в две стадии, на первой стадии используется температура 470 °С, на второй - 700°С. Не реагирует с оксидом кремния.

4. При оптимальных условиях граница раздела силицид-кремний будет гладкой с низкоомным контактом.

5. Не имеет свойства сильного взаимодействия с примесями, нет проблемы перераспределения.

6. После формирования силицида кобальта в нем можно формировать мелкие переходы путем ионной имплантации примеси.

Недостатки:

1. Чувствителен к поверхностным условиям областей кремния перед осаждением кобальта (присутствие естественного оксида кремния или других поверхностных загрязнений).

2. Во время формирования силицида потребление кремния на 25% выше, чем для силицида титана.

3. Загрязнение подзатворного диэлектрика кобальтом будет ухудшать его свойства.

Зародышеобразование и рост силицида кобальта может быть выполнено при помощи эпитаксии на подложке с ориентацией (100). Потенциальным преимуществом этого способа является достижение гладкой границы раздела, что позволяет получить более низкие диодные утечки и ультра-мелкие переходы.

Дата добавления: 2015-07-26; просмотров: 318; Нарушение авторских прав

Мы поможем в написании ваших работ!