Вакуумная техника

Материалы и элементы вакуумной техники.

Типовые элементы вакуумной исследовательской техники:

· Конструкционные элементы – корпуса, колпаки, и т.п.

· Уплотнительные и крепежные элементы.

· Средства откачки.

· Держатели образцов и подложек.

· Молекуляторы.

· Вводы вращения.

· Окна.

· Нагреватели.

· Электроды различных форм и размеров.

Требования к материалам вакуумной техники:

· Низкая газопроницаемость.

· Низкое газовыделение.

· Устойчивость при температурах отжига.

· Высокая устойчивость к коррозии.

· Механическая прочность.

· Возможность тонкой механической обработки.

Специфические требования к материалам для отдельных элементов:

· Для подложек и испарителей – высокая температура плавления.

· Для электродов – устойчивость к коррозии под воздействием сильных электрических полей и разрядов.

· Высокая/низкая магнитная проницаемость – подавление/использование магнитных полей.

Типовые применяемые материалы:

· Сталь марки 12Х18Н10Т – основной материал для конструкционных элементов.

· Материалы с хорошей электропроводностью: Cu, Al (ограничение по t).

· Тугоплавкие металлы для испарителей: W, Mo, Ta.

· Пермаллой (??) ферромагнетики

· Стекло для окон

· Керамическая изоляция из специальной керамики (Al₂O₃), выдерживает температуры до 1500-2000 градусов.

· При нагреве до 200…250 градусов, могут быть использованы некоторые полимеры: тефлон, силикон, т.д.

Проблемные материалы:

· Большинство пластиков.

· Большинство резин.

· Металлы: цинк, кадмий, сплавы с их участием (латунь), покрытия из них.

Дата добавления: 2014-11-14; просмотров: 231; Нарушение авторских прав

Мы поможем в написании ваших работ!