Средства откачки

Двухступенчатая откачка: сначала вакуумная камера откачивается форвакуумным насосом, и затем начинает работать высоковакуумный насос, который опускает давление до высокого вакуума. Для начала работы высоковакуумных насосов нужно давление порядка 1 Па.

Два класса устройств:

1. Форвакуумные насосы.

2. Высоковакуумные насосы.

Форвакуумные насосы.

1. Ротационно-лопастной насос. Внутри ротора находятся лопасти на пружинах, которые при его вращении разжимаются до краев цилиндрической камеры из-за растяжения пружин. Лопасти забирают порцию от откачиваемых остатков газа с выхода. Для изоляции от атмосферы ставится резервуар с маслом. Остаточное давление может быть обеспечено в порядке ~ 0,1 Па.

2. Цеолитовый криогенный насос.

Цеолиты – класс веществ, представляющий собой алюмосиликаты щелочных и щелочноземельных металлов, таких как натрий и кальций. Промышленно выпускаются в форме гранул, имеют структуру с внутренними порами, соединенными с каналами диаметров порядка 1 нм. Чем мельче детали, тем больше удельная поверхность. Внутренняя поверхность материалов огромна, и может составлять в 40000 раз больше площади, чем наружная. Такая структура с каналами и большой внутренней поверхностью позволяет гранулам адсорбировать в себя большое количество газов. Не адсорбируются только инертные газы и водород. Адсорбция значительно усиливается при охлаждении жидким азотом, что и используется в насосах.
Цеолит высыпается из резервуара, он присоединяется к вакуумной системе, и заливается жидким азотом. Соответственно, при присоединении к вакуумной камере адсорбируют газы. Остаточное давление порядка 10^-1 Па. Насосы так же комплектуют печью, в ней прогревают полости с цеолитом, происходит десорбция газов при нагревании.

Дата добавления: 2014-11-14; просмотров: 222; Нарушение авторских прав

Мы поможем в написании ваших работ!