Высоковакуумные насосы

1. Пароструйный/паромасляный/диффузионный насос. Исторически первый вид высоковакуумного насоса.

Принцип действия пароструйного насоса основан на диффузии молекул откачиваемых газов потоком пара с последующим осаждением на панели, охлаждаемой жидким азотом или водой. Для образования пара используются специальные вакуумные масла, или полиэфиры. Остаточное давление в зависимости от качества конструкции составляет p = 10^-4...10^-7. Лучшие образцы создают вакуум, пригодный для очистки поверхности.

Достоинства:

1) Простота устройства.

2) Надежность.

3) Отсутствие вибраций.

Недостатки:

1) Высокое остаточное давление.

2) Загрязнение вакуумной камеры парами масла. Полиэфиры зарубежных конструкций лучше.

2. Турбомолекулярный насос. Принцип действия основан на увеличении молекул газа набором быстровращающихся и неподвижных пластин, образующих каналы для выхода газа.
Рядом расположенные пластины имеют зеркально расположенные прорези, что обеспечивает высокую вероятность движения молекул от пластины к пластине. Для высокой вероятности захвата частиц газа необходимо, чтобы вращающиеся пластины двигались с той же скоростью, как молекулы (v~500 м/с).V = ω*r = 2πfr
f = v/2πr = 500/1 = 500 об/с = 30000 об/мин.
Насос может обеспечивать давление порядка 10^-8 Па.

Достоинства:

1) Чистота.

2) Надежность. (используется железо, а не электричество)

3) Наименьшая зависимость от состава откачиваемых газов.

Недостатки:

1) Вибрации (привода).

2) Непригоден для систем с точным позиционированием (сканирующе-туннельная и атомно-силовая микроскопия).

3. Титановые сублимационные насосы. Неполноценные средства откачки, а дополнение к основным системам для поддержания вакуума.

Принцип действия – термическое распыление титана с подогреваемой током спирали. Титан покрывает все свободные поверхности, прежде всего, стенки камеры, и позволяет связывать, фактически, любые остаточные газы, включая инертные в ионизационном состоянии.

Дата добавления: 2014-11-14; просмотров: 254; Нарушение авторских прав

Мы поможем в написании ваших работ!