Магнито-разрядный/ионный насос

Между полюсами магнита помещаются титановые пластины, которые выполняют роль катода, между которыми располагаются металлические трубки, играющие роль анода (матрица из металлических трубок). К анодным трубкам прикладывается потенциал +5-7 кВ относительно катода, что вызывает эмиссию электронов из катода. Вылетевшие из катода электроны попадают в магнитное поле магнита, что вызывает длинные и сложные траектории движения электронов. Ускоренные напряжением 5-7 кВ вызывают ионизацию остаточных газов. Газы – элементы высоких групп, поэтому, ионизуясь, они отдают электроны, и стремятся к более низкому потенциалу, т.е. катоду. Ионы газа притягиваются к катоду и распыляют титан, из которого он состоит. Титан покрывает стенки электродов и корпуса, а далее по принципу титанового сублимационного насоса. Титановая поверхность связывает газы.

Данный насос дает наиболее высокие результаты, и можно достигать давлений порядка 10^-9 Па.

Достоинства:

1) Чистота.

2) Возможность откачки различных газов, в том числе инертных.

3) Отсутствие вибраций.

4) Большой срок службы.

5) Низкое энергопотребление.

6) Возможность контроля остаточного давления по току разряда в насосе (движение ионов).

Недостатки:

1) Зависимость скорости откачки от состава удаляемых газов. Разница может составлять до сотен раз.

Дата добавления: 2014-11-14; просмотров: 424; Нарушение авторских прав

Мы поможем в написании ваших работ!