Тонкопленочные транзисторы

При изготовлении МОП приборов поликремний используется для формирования затворов МОП-транзисторов и в качестве локальных межкомпонентных соединений.

С точки зрения повышения плотности упаковки СБИС представляет интерес трехмерная КМОП-структура, показанная на рисунке . Устройство с каналом p-типа изготовлено на монокристаллической подложке, а n-канальный прибор – в рекристаллизованной лазером поликремниевой пленке, лежащей сверху. У обоих приборов электроды поликремниевые, а отношение ширины к длине составляет 18/2.

Дата добавления: 2015-07-26; просмотров: 185; Нарушение авторских прав

Мы поможем в написании ваших работ!