Главная страница Случайная лекция Мы поможем в написании ваших работ! Порталы: БиологияВойнаГеографияИнформатикаИскусствоИсторияКультураЛингвистикаМатематикаМедицинаОхрана трудаПолитикаПравоПсихологияРелигияТехникаФизикаФилософияЭкономика Мы поможем в написании ваших работ! |
Платы толстопленочных ГИСКОНСТРУИРОВАНИЕ И ТЕХНОЛОГИЯ ТОЛСТОПЛЕНОЧНЫХ ГИС Резка подложек
После нанесения всех слоев микросхемы и проверки электрических параметров, бракованные микросхемы маркируют каким-либо способом. А затем подложки разрезают на отдельные микросхемы. Резку производят на скрайтировочном станке с помощью алмазного резца. Поскольку резец не прорезает подложку на всю толщину, а делает только глубокий надрез (скрайтирует канавку), то после скрайтирования подлодку разламывают по надрезам с помощью планки с прорезью. В дальнейшем из партии нарезанных м/схем отбирают годные, укладывают их в технологическую тару передают на сборку. Платы толстопленочных ГИС должны быть дешевыми, иметь высокие механическую прочность, теплопроводность, термостойкость и химическую стойкость. Наиболее подходящими материалами для плат толстопленочных ГИС являются высокоглиноземистая керамика 22XC, поликор и керамика на основе окиси бериллия. Высокая механическая прочность керамики позволяет использовать плату в качестве детали корпуса с отверстиями, пазами, а высокая теплопроводность дает возможность изготовлять мощные микросхемы. Самую высокую теплопроводность имеет бериллиевая керамика, но в массовом производстве ее не используют из-за высокой токсичности окиси бериллия. Керамику типа «поликор» применяют для создания многослойных толстопленочных БИС. В условиях массового производства используют платы из керамики 22ХС, изготовляемые прессованием порошков или методом шликерного литья с последующим обжигом при температуре 1650° С. Точность изготовления пассивной части микросхемы в значительной мере зависит от плоскостности и шероховатости платы. Максимальная кривизна поверхности (макронеровность) не должна превышать 4 мкм на 1 мм. Шероховатость (микронеровность) рабочей поверхности платы должна быть не ниже 8-го класса (высота неровностей 0,32—0,63 мкм). Более высокая чистота обработки поверхности платы не нужна, так как адгезия толстых пленок к шероховатой поверхности лучше, а влияние микронеровностей мало сказывается на свойствах пленок толщиной 10—70 мкм. Размеры плат определяются конкретной конструкцией корпусов. Максимальные размеры плат 60X48 мм. Платы больших размеров не применяют из-за ухудшения параметров пленочных элементов вследствие коробления плат при вжигании пленок. Толщина плат 0,6—1 мм. Структурная схема технологического процесса изготовления толстопленочных ГИС
Вариант 1 используют для схем с проволочными выводами, герметизируемых в металлополимерные корпусы, а вариант 2 — для схем с рамочными выводами, герметизируемых в керамические, металлокерамические и пластмассовые корпусы.
Дата добавления: 2014-03-13; просмотров: 377; Нарушение авторских прав Мы поможем в написании ваших работ! |